武汉科赛思机电有限公司
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技术参数：
X1轴
测量范围：200mm
分辨率：0.00625μm
检测方法：激光全息光栅尺
驱动速度：40mm/s（CNC模式） 0-40mm/s（操纵杆控制模式）
测量速度：0.02-0.2mm/s(表面粗糙度)
0.02-2mm/s（形状/轮廓）
测量方向：向前/向后
直线度： （0.1+0.0015L）μm 使用标准测针
（0.2+0.0015L）μm 使用二倍长型测针
指示（20℃）：±（0.3+0.002L）μm
指示（20℃）：±（0.16+0.001L）μm L为驱动长度（mm）
Z1轴：
测量范围： 12mm(使用标准测针) 24mm(使用二倍长型测针)
分辨率：0.004μm（使用标准测针） 0.008μm（使用二倍长型测针） 0.001μm（使用标准测针）
(CS-H5000CNC) 0.002μm（使用二倍长型测针） (CS-H5000CNC)
测针上/下运作：弧形运动
检测方法：激光全息光栅尺
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