武汉科赛思机电有限公司
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技术参数
指示（20℃）：±（0.3+0.002L）μm
指示（20℃）：±（0.16+0.001L）μm L为驱动长度（mm）
Z1轴：
测量范围： 12mm(使用标准测针) 24mm(使用二倍长型测针)
分辨率：0.004μm（使用标准测针） 0.008μm（使用二倍长型测针） 0.001μm（使用标准测针）
(CS-H5000CNC) 0.002μm（使用二倍长型测针） (CS-H5000CNC)
测针上/下运作：弧形运动
检测方法：激光全息光栅尺
指示（20℃）：±（0.3+I0.02HI）μm
指示（20℃）：±（0.07+I0.02HI）μm H为测量高度（mm）
测力：4mN（使用标准测针） 0.75mN（使用二倍长型测针）
跟踪角度：向上60°，向下60°（取决于表面粗糙度）
针尖（球型测针）：金刚石，角度：40°，半径5μm （半径：0.25mm，蓝宝石）
测针方向：向下
Z2轴（立柱）
测量范围： 300mm
分辨率：0.05μm
检测方法：反射型线性编码器
驱动速度：200mm/s（CNC模式） 0-50mm/s（操纵杆控制模式）
基座尺寸：（W×D）:750×600mm
基座材料：花岗岩
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